半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体行业高端品牌测封配套设施涉重化工废水——MVR被迫不断循环零排活动
业务题材
半导体芯片技术高品质测封楼盘,产值150m³米/天,是第一个半导体芯片技术测封生活配套涉重废污水零排楼盘。测封教学环节的镀镍、镀铜、引线前端框架清洁工作会引发含镍含铜废污水,该项目规定要求"无尾水外排",产水任何使用于产线。
水的质量的特征与瓶颈问题
生活污水以含镍是以(氨水浓度10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH动荡大(2–12),另外还有光刻胶残留物的少量的有机质物。公测厂场所紧,的要求处理措施占地面小;零排含意着浓水没能建筑垃圾清运多余,必需地方多效蒸发结晶体闭环控制。
净化处理工学艺自驾路线
产品 走"分质征集 → 预治理除杂 → 化学反应悠长岁月中除镍 → 脱水 → UF+有级RO → MVR硬性反复的化掉 → 空气冷却水使用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢防钝化钠转化成Ni(OH)₂水解,加上混炼钠深层收集残留镍(混炼镍Ksp比氢防钝化镍更小,也能镍压到0.1毫克/升这);
积淀冒水经多材质滤出+保安队长滤出后进UF,再进第一RO,产水单独回产线除污;
RO浓水(含盐+的残留物巨资属)进MVR二次性要求反复的真空泵器,二次性要求反复的能扛高含盐积灰,真空泵器自建一直在线冲洗,不方便堵;
MVR蒸汽加热水回答工业废水处理水盆,多效蒸发残液委外焚化或用于危险废弃物救治,整个的厂内无液体状态外排。
关键性机器设备的优势阐明
MVR立即配置相对来说传统性降膜挥发,配置气速高、换热面不容易结镍盐/碳酸盐垢,可以测封这般"发电量太大但水的质量杂"的场景设定;一起化撬装设定征地赔偿比传统性挥发塘+多效挥发方式小60%以上的;废气侧配套设施菌物滤池,把缓解池和污泥干化间的废气搜集后生物降解成CO₂和水,应对测封厂紧挨着办公楼区的特殊难闻气味申诉。
处里结果与社会效益
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,不同于《塑料电镀水挥发性有机物尾气废气排放基准》表三;彻底150万每立方/天产水循环于公测产线除污,取代等量新鮮水;危险废弃物(多效蒸发残液+淤泥)量比民俗"凝固+尾气废气排放"模式英文减约70%。对富士康侧,公测好项目绿色许可卡点打架通;