昆明某半导体技术集成电路芯片制做厂，晶圆制作进程中形成含硅、氟的特别生活污水整理，制定整理整体规模1200吨/日。生活污水整理部分较为复杂，含有纳米级级硅粒子及盐酸，过去的整理办法没办法符合标准。 废水处理工艺成分表及源于 一般水污染 ：氢氧化铁硅（100-500nm比表面积）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来原流程 ：晶圆刻蚀废渣（45%）、CMP生物机诫拋光废渣（40%）、机消毒水（15%） 外理艺程序 企业创新利用"化学工业沉定+防化膜破乳"技巧路线地图： 钙盐乳浊液 ：加药氯化钙我们要除氟亚铁离子（制成CaF2沉定） 水解酸化池反應 ：复合材料二沉池剂实现了固体硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔经膜挪作他用微细颗粒状 反融于系统性 ：脱盐率>98%，的回收利用率75% 多效蒸发沉淀 ：浓水段确保氟化物零减排 从而感觉 氟化物氧浓度：<8mg/L（不超过部委特级标准的10mg/L） 硅水分含量：<5mg/L 水环境英文回收利用率：70%使用于一系列圆形逆流式冷却塔补充水分 危废处理减轻：蒸发器残余物量较传统性艺提高60%