某半导体设备生产加工商家因晶圆冲洗工艺流程产生了含氨污水，的水量200吨/天。污海里除氟化物外还有氟化物和轻微天价属，办理难易度大。当地人尾气排放标淮标淮请求氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水材料及特征 晶圆除污污废水 （注意来自）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺技术废气：含少量铜、镍等血本属，pH值波动性大 CMP精磨生产废水：含硅小粒及氯离子 治理 工艺技术步奏 通过"化学上沉淀物+膜脱离+折点氯化"女子组合加工过程： 预治理 ：加药CaCl2除氟，调节pH在7.5-8. 反渗透膜系统化 ：消除0.01μm左右颗粒剂物 反融合提液 ：将氟化物萃取至1000mg/L不低于 折点氯化 ：小于管控氯加药量，将氟化物转换为氦气 阴阳离子交換 ：切实保障高价属达到 结果是郊果 氧化还原电位稳定性高＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含锌量不低于测量限 水回收率达75% 污泥处理形成量才能减少40%