该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线生活配套的超去离子水系统的，经常形成含硅污废水 150吨。污废水 中虽无血本属，但硅的含量高易结渣，且电容率需起到18MΩ·cm才能够回收利用。同一解决技术無法充分考虑新发布的《电子无线工业品水感染物摆放规范》（GB39731-2020）特意摆放最大限度。 废污水营养成分优势 最主要的被污染的物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（比表面积0.1-1μm） 特定追求 ：TOC<10μg/L，硼含量<5μg/L 水源性质 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机物形状繁复 处置加工制作工艺 工艺程序 技术创新进行"梯级膜剥离+电去阴离子"结构加工制作工艺 ： 微滤预办理 ：1μm工业陶瓷膜屏蔽大颗粒状硅，通量恢复80LMH 阳离子变换硅胶粘合剂 ：D201大孔树脂材料考虑性过滤硅酸碳原子 二次RO软件 ：一是段回收公司率60%，其次段选用高脱硼膜开关元件 EDI电去铁离子 ：直流电孔隙率2A/m²，持继剔除残留阳离子 分光光度计灭菌 ：254nmUV紫外线灯线含量40mJ/cm² 枝术薄弱环节 制作上用阻硅剂（有机酸胺类软型物），推迟膜的污染生长期3倍 EDI模块图片革新流道定制，硅删去率上升至99.8% 百度在线硅进行分析仪器（在测量空间0.1-500μg/L）实现了精准服务操作 操作实效 经第3方检查： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼份量从8μg/L调至0.3μg/L 软件收集率从原40%升级至68% 膜更新定期延长时间至5年，年作业投入减小35%