该晶圆分娩加工厂坐落于豫东国家地区,注意分娩8厘米半导体器件晶圆,单日废液进行投放量下跌约800吨。会因为分娩阶段中选用广泛氢氧化钠进行晶圆蚀刻,引发废液中氟化物溶液浓度高至200-300mg/L,远超国家地区进行摆放标(10mg/L下)。
化工废水材质及渠道
污水大部分源自三种关键环节:
晶圆蚀刻道工序
:含高酸度氟化物(HF)、硝酸钠及一少部分巨资属
电化学设备抛光剂(CMP)化工废水
:含纳米级级硅颗粒剂、有机物络合剂
机擦洗生产废水
:含异丙醇、氧化还原电位等氮化合物物
治理方法具体流程
采用了"普通机械沉淀自己自己+混泥土沉淀自己自己+层次过虑"三阶段治疗设备:
4级进行处理
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,组成氟化钙发展,氟化物避开率达85%
三级处置
:调用PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),彻底清除悬浊液态污染破坏物
三级职业资格证书处里
:在多材质油烟净化器器和活力性炭吸出,留水氟化物溶液浓度固定在8mg/L以下的
核心设备包涵:pH智能控制软件、斜管沉淀物池、板框压滤(废水甩干)。
决定治疗效果
业务操作2年监测器资料彰显:
氟化物大概盐浓度:7.2mg/L(小于国原则)
COD清除率:92%
生活污水水分含量率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副好产品约150吨,构建市场化凭借