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半导体研磨废水怎么处理|半导体研磨废水如何处理

項目大环境 此项目应用于豫东区县二家高知名度半导体技术制做企业,关键生产制造85屏幕尺寸和125屏幕尺寸晶圆。现在扩产发展,精磨环节所产生的废液流量从原本的200吨/日延长到350吨/日,以往处理设施管理已难以要求需求量,且喷水地表水不稳定性高,急待扩建工程和更新废液处理平台。 化工废水的成分及因素 该公司企业研磨机工业废水关键产于以内繁琐流程: 生物学机械设备制造粉磨(CMP)废水处理方法:有效二硫化硅、硫化铝等粉磨粒子,粒度分布在0.1-1μm条件 晶圆侧面磨研化工废水:有硅粉、不锈钢化合物(铜、铝等)及大量生物碳移除剂 切成片研磨机废气:最主要的基本成分为氢氟酸处理硅颗粒肥料和激光切油保湿乳液 废水处理工艺属性现象为:pH值震荡大(2-11)、飘浮物氧浓度高(500-2000mg/L)、所含轻微高价属和难吸附有机肥料物,COD基本上在200-500mg/L空间。 操作工序流程步骤 过屡次小试和中试,终极制定进行以下的整工院艺: 调整池 :设制pH线监测方案和定时加量操作系统,将废水处理工艺pH安稳在6.5-7.5领域 水泥混凝土积淀 :加药缩聚氯化铝(PAC)和阴阳离子型PP酰胺(PAM),搅拌现象后进入斜板乳浊液池 溶气气浮 :用方面流失式溶气气浮,进第一步彻底清除体积小颗粒状和悬浊液化学物质 多物质净化 :按照石英砂砂+活力性炭多级过虑,抓实满水后SS<10mg/L 膜处置程序 :比如反加入膜(UF)和反加入(RO)有级,RO浓水简单处理 废水办理 :乳浊液和和气气浮污泥处理经板框压滤后土石方治理 要素生产工艺指标:混疑时候G值有效控制在60-80s⁻¹,反映时刻15min;气浮流回比30%,等候时刻20min;反侵入装置通量60LMH,反侵入收废率75%。 结果英文治疗效果 软件系统自动运行稳定性高后,溢水地表水压根符合《电子器件化工水废弃物物废气排放量条件》(GB39731-2020)尤其是废气排放量限制值必须,大部分指标图以下几点: SS<5mg/L(除掉率>99%) COD<30mg/L(祛除率>93%) 铜阴阳离子<0.3mg/L 留水回收利用率到达65%以上的 污泥处理减药40% compared to原生产工艺 本次目总投入资金约1200亿元,行驶成本低约8.5元/吨水,今年可减小废污水摆放量上涨10万桶,回收处理有限水源性4万桶,国家经济高盈利能力和生活环境高盈利能力显著性。

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